特点：
C向蓝宝石(Al2O3)单晶，即(0001)面，是半导体行业，特别是LED领域中应用最广泛的材料。单面抛光（single side polished）蓝宝石，亦称晶圆-wafer，是氮化镓(GaN)外延芯片的最佳匹配基片。
本公司提供性能优异的蓝宝石外延片。标准尺寸有：2 inch(直径50.8 mm)，4 inch(直径101.6 mm)，6 inch(直径152.4 mm) 外延片(wafer)。也可按照客户要求，切割成诸如：10*5*0.5mm，10*15*0.4mm，5*5*0.4mm小片，也可按照客户自身要求，满足私人定制。
表1： 典型的2、4、6寸蓝宝石外延片参数
| 材料 Material | 高纯度单晶Al2O3 |
| 晶向 Orientation | C面（0001）±0.3° |
| 对M轴偏离角度 | 0.20 ± 0.05° |
| 对A轴偏离角度 | 0.0 ± 0.1° |
| 直径 Dismeter | 50.8±0.15mm 101.6±0.15mm 152.4±0.15mm |
| 厚度 Thickness | 330μm/430μm±25μm 620μm±25μm 750μm±25μm |
| 总厚度偏差TTV | ＜10μm |
| 表面总平整度TIR | ≦10μm |
| 弯曲度 WARP | ≦15μm |
| 翘曲度 BOW | -10 ~ 0μm |
| 定位面方向 Primary Flat Location | A面（11-20） |
| 定位面偏离角度Flat Off-set Angle | 0.0 ± 0.2° |
| 定位边长Primary Flat Length | 16±0.5mm (2英寸) |
| 表面粗糙度Frontside Surface Roughness | RA≦3Å（即Ra≦0.3nm） |
| 背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra) | Ra=0.5~1.0μm |
| 包装 Package | 洁净室内真空冲氮包装 |
单晶硅衬底-外延片 